[发明专利]双输出微机电谐振器及其制造和操作方法在审
| 申请号： | 201980043906.2 | 申请日： | 2019-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN112352143A | 公开（公告）日： | 2021-02-09 |
| 发明（设计）人： | 乔治·艾瑞阿斯;瓦希德·塔亚瑞;艾哈迈德·霍希德;查尔斯·艾伦 | 申请（专利权）人： | 斯塔特拉IP控股公司 |
| 主分类号： | G01K7/00 | 分类号： | G01K7/00;B06B1/02;B81B7/02;H03L1/02 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 高岩;杨林森 |
| 地址： | 加拿大*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供了双输出微机电系统(MEMS)谐振器。可以以面内振动模式和面外振动模式选择性地以及同时操作MEMS谐振器，以分别获得具有第一频率的第一电信号和具有比第一频率小的第二频率的第二电信号。将第一电信号和第二电信号混合，以获得具有第三频率的第三电信号，其中第三频率与MEMS谐振器的温度成比例。基于第三频率来确定该温度。可以基于所确定的温度来调整第一频率和第二频率的值，以补偿由于温度偏差引起的频率偏差。还提供了用于确定双输出MEMS的温度、用于补偿频率的方法和系统以及制造双输出MEMS的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 输出 微机 谐振器 及其 制造 操作方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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