[发明专利]垂直腔表面发射激光装置在审
申请号: | 201980044575.4 | 申请日: | 2019-07-08 |
公开(公告)号: | CN112534660A | 公开(公告)日: | 2021-03-19 |
发明(设计)人: | 巴布·达亚尔·巴多拉帕斯 | 申请(专利权)人: | 厦门市三安集成电路有限公司 |
主分类号: | H01S5/024 | 分类号: | H01S5/024;H01S5/183 |
代理公司: | 北京泰吉知识产权代理有限公司 11355 | 代理人: | 史瞳;谢琼慧 |
地址: | 361100 福建省厦门*** | 国省代码: | 福建;35 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 一种VCSEL装置(10),包括一基材(100)、第一型和第二型掺杂分布式布拉格反射器(110,140)、第一及第二电极(120,170)、一主动层堆叠(130)、一反相表面浮雕层(150)及一限制件(160)。该反相表面浮雕层(150)具有一有一凹槽宽度(W1)的表面浮雕凹槽(151)。该限制件(160)界定一供由主动层堆叠(130)所产生的一激光光束穿过且具有一不小于8μm且不小于该表面浮雕层(151)的该凹槽宽度(W1)的1.6倍的贯孔宽度(W2)的贯孔(161)。该反相浮雕层(150)具有一等于该激光光束的波长的n/4倍的最小厚度,n是一不小于2的正偶数。 | ||
搜索关键词: | 垂直 表面 发射 激光 装置 | ||
【主权项】:
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