[发明专利]具有止蚀层的MEMS显示装置在审
| 申请号： | 201980045088.X | 申请日： | 2019-07-03 |
| 公开（公告）号： | CN112368233A | 公开（公告）日： | 2021-02-12 |
| 发明（设计）人： | 房雄·石井;维克托·斯通;鸟俊孝 | 申请（专利权）人： | 依格耐特有限公司 |
| 主分类号： | B81B7/00 | 分类号： | B81B7/00;B81C1/00 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 熊永强 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 微电子机械系统(MEMS)装置包括：基板；在基板上的电子电路；电连接至电子电路的电极；可移动元件，其中可移动元件通过在电极与可移动元件之间施加电压来控制；在电极与电子电路之间的绝缘层；以及止蚀层。绝缘层具有将电极与电子电路电连接的通孔，并且止蚀层由氮化铝或氧化铝中的至少一种制成。止蚀层可以覆盖电极和电子电路，或者电极可以安装在止蚀层上，并通过通孔经由止蚀层电连接到电子电路。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 止蚀层 mems 显示装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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