[发明专利]SEM图像增强方法和系统在审
| 申请号： | 201980046684.X | 申请日： | 2019-07-01 |
| 公开（公告）号： | CN112424903A | 公开（公告）日： | 2021-02-26 |
| 发明（设计）人： | 方伟;浦凌凌;T·J·胡伊斯曼;E·P·斯马克曼 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/22 | 分类号： | H01J37/22;H01J37/28;G06T5/00;G06T5/50;G06T7/00 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 王茂华;杨飞 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 公开了用于使用多光束设备进行图像增强的系统和方法。一种用于增强图像的方法包括通过使用多光束设备的同轴光束获取第一扫描电子显微镜(SEM)图像。该方法还包括通过使用多光束设备的离轴光束获取第二SEM图像。该方法还包括通过使用第一SEM图像作为参考来增强第二SEM图像而提供经增强图像。经增强图像可以通过使用从第一图像所提取的一个或多个特征来增强第二SEM图像而被提供或使用第一SEM图像作为参考来对第二SEM图像进行数值增强而被提供。 | ||
| 搜索关键词： | sem 图像 增强 方法 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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