[发明专利]探针、检查治具、检查装置以及探针的制造方法在审
| 申请号： | 201980047512.4 | 申请日： | 2019-05-27 |
| 公开（公告）号： | CN112424614A | 公开（公告）日： | 2021-02-26 |
| 发明（设计）人： | 山崎秀和;隈本幸雄 | 申请（专利权）人： | 日本电产理德股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/067 | 分类号： | G01R1/067;G01R1/073 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 马爽;臧建明 |
| 地址： | 日本京都府京都市右京区西京极堤*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 探针Pr为大致棒状形状，包括前端部Pa、基端部Pb、以及主体部，所述主体部位于前端部Pa与基端部Pb之间，且与大致棒状的轴向正交的厚度方向的厚度比前端部Pa薄，主体部PC包含倾斜面Fs1，所述倾斜面Fs1与前端部Pa相连，且以厚度随着远离前端部Pa而逐渐变薄的方向相对于轴向倾斜，在倾斜面Fs1的至少一部分设置有具有朝向外侧鼓起的面形状的第一区域。 | ||
| 搜索关键词： | 探针 检查 装置 以及 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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