[发明专利]二次谐波产生(SHG)光学检查系统设计在审
| 申请号： | 201980047563.7 | 申请日： | 2019-05-14 |
| 公开（公告）号： | CN113167741A | 公开（公告）日： | 2021-07-23 |
| 发明（设计）人： | 雷鸣 | 申请（专利权）人： | 菲拓梅里克斯公司 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88;G01N21/95;G01N21/01 |
| 代理公司： | 北京三高永信知识产权代理有限责任公司 11138 | 代理人： | 关越 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 二次谐波产生(SHG)可用于询问样品(例如层状半导体结构)的表面。基于SHG的样品询问系统可一次同时收集SHG信号的不同偏振分量，以提供不同类型的信息。SHG成像系统可提供更大样品区域上的SHG图像或SHG信号分布图。一些这样的SHG成像系统采用多个光束和多个检测器来捕获样品区域上的SHG信号。一些SHG成像系统采用成像光学器件将样品成像到检测器阵列上，以形成SHG图像。 | ||
| 搜索关键词： | 二次 谐波 产生 shg 光学 检查 系统 设计 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于菲拓梅里克斯公司，未经菲拓梅里克斯公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201980047563.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
