[发明专利]用于组合相干激光射束的设备、激光系统和方法

摘要

本发明涉及一种用于组合N多个相干激光射束(3.1，...，3.N)的设备(16)，其包括：至少N‑1个用于调整相干激光射束(3.1，...，3.N)中的一束的相应相位的相位调整装置(6.1，...，6.N)，以及用于组合所述相干激光射束(3.1，...，3.N)以便形成至少一束组合激光射束(12)的射束组合装置(10)。为了形成至少一束组合激光射束(12)，所述射束组合装置(10)具有带有至少两个微透镜阵列(17a，b)的微透镜组件(11)。本发明还涉及一种激光系统，其包括至少一个用于产生多个相干激光射束(3.1，...，3.N)的激光源、多个用于发射所述多个相干激光射束(3.1，...，3.N)的发射面(8.1，...，8.N)，以及上面所说明的、用于将多个相干激光射束(3.1，...，3.N)组合为至少一束组合激光射束(12)的设备(16)。本发明还涉及一种用于组合多个相干激光射束(3.1，...，3.N)的所属的方法。