[发明专利]用于决定层的厚度和折射率的方法有效
| 申请号： | 201980048346.X | 申请日： | 2019-07-17 |
| 公开（公告）号： | CN112437867B | 公开（公告）日： | 2022-10-04 |
| 发明（设计）人： | N.兰戈尔兹;J.哈尔斯特里奇 | 申请（专利权）人： | 卡尔蔡司显微镜有限责任公司 |
| 主分类号： | G01B9/04 | 分类号： | G01B9/04;G01B11/06;G01N21/41 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 王蕊瑞 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于决定在基板(26)上的层(6)的厚度和折射率的方法，层(6)具有面向基板(26)的层边界表面(30)以及背离基板(26)的层顶侧(28)。在所述方法中，实行以下步骤：沿光轴(8)由共聚焦显微镜将层(6)成像；决定在层边界表面(30)和层顶侧(28)处的沿光轴(8)分辨的点扩散函数；从在点扩散函数的两个极大值之间的距离，决定层在层的侧向点处的表观厚度；在侧向点处，决定在层边界表面(30)的点扩散函数具有的极大值相对于在层顶侧(28)的点扩散函数具有的相同极大值的加宽；以及从表观厚度和加宽，决定层(6)在侧向点处的厚度和折射率。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 决定 厚度 折射率 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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