[发明专利]等离子体室中温度的实时控制在审
| 申请号： | 201980048660.8 | 申请日： | 2019-07-17 |
| 公开（公告）号： | CN112470247A | 公开（公告）日： | 2021-03-09 |
| 发明（设计）人： | 经常友 | 申请（专利权）人： | 朗姆研究公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 上海胜康律师事务所 31263 | 代理人： | 樊英如;邱晓敏 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 描述了用于在等离子体室内温度的实时控制的系统和方法。该方法中的一者包含实时感测耦合至电压源的轨的电压。电压源供给电压至等离子体室的多个加热器元件。所感测的电压用于调整加热器元件中的对应的一或更多个的一或更多个工作周期。经调整的一或更多个工作周期促进随着时间的推移在等离子体室内实现和维持温度值。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子体 温度 实时 控制 | ||
【主权项】：
暂无信息
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