[发明专利]溅射靶有效
| 申请号： | 201980048941.3 | 申请日： | 2019-07-17 |
| 公开（公告）号： | CN112469843B | 公开（公告）日： | 2023-06-23 |
| 发明（设计）人： | 加守雄一 | 申请（专利权）人： | 迪睿合株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C04B35/453;G11B7/2578;G11B7/26 |
| 代理公司： | 北京挚诚信奉知识产权代理有限公司 11338 | 代理人： | 徐月;马铁军 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 提供对人体的危险性少，此外，即使在以高输出实施长时间的溅射的情况下也能够抑制开裂产生的溅射靶。一种溅射靶，其包含Zn、Sn、Zr和O，Zn的含量相对于金属成分整体为30～60mol％，Zr的含量相对于金属成分整体为10～40mol％，且包含Zr的复合氧化物。 | ||
| 搜索关键词： | 溅射 | ||
【主权项】：
暂无信息
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