[发明专利]维护模式电源系统在审
| 申请号： | 201980049063.7 | 申请日： | 2019-07-25 |
| 公开（公告）号： | CN112470248A | 公开（公告）日： | 2021-03-09 |
| 发明（设计）人： | 尼尔·马丁·保罗·本杰明;约翰·皮斯 | 申请（专利权）人： | 朗姆研究公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 上海胜康律师事务所 31263 | 代理人： | 樊英如;邱晓敏 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 公开了一种用于控制到等离子体处理装置的电压电平的双模式电源设备。该双模式电源设备包括电源连接器和控制电路。该电源连接器连接到第一电压电源或第二电压电源。该控制电路连接在该电源连接器的输出与该等离子体处理装置的第一和第二电压子系统之间。在该等离子体处理装置的第一操作模式下，该控制电路基于该第一电压电源将第一电压提供给该第一电压子系统。在该等离子体处理装置的第二操作模式下，该控制电路基于第二电压电源将第二电压提供给该第二电压子系统。 | ||
| 搜索关键词： | 维护 模式 电源 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于朗姆研究公司，未经朗姆研究公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201980049063.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：柱硬件及分离柱以及它们的制造方法
- 下一篇：骨骼切割件和软组织保护件
