[发明专利]具有用于释放内部压力的结构的显影装置在审
| 申请号： | 201980049817.9 | 申请日： | 2019-05-23 |
| 公开（公告）号： | CN112513743A | 公开（公告）日： | 2021-03-16 |
| 发明（设计）人： | 张皓轸;朴钟炫;李东根 | 申请（专利权）人： | 惠普发展公司;有限责任合伙企业 |
| 主分类号： | G03G9/00 | 分类号： | G03G9/00;G03G15/08 |
| 代理公司： | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人： | 周艳玲;王琦 |
| 地址： | 美国得*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 显影装置包括显影辊、显影剂输送单元、显影剂排出单元和空气排出端口。显影剂输送单元包括被提供有显影辊并在所述显影辊的纵向方向上延伸的显影室、平行于所述显影室布置的搅拌室、以及在纵向方向上的相应端部处具有第一连通端口和第二连通端口以将所述显影室与所述搅拌室连接的阻挡壁。显影剂排出单元在所述显影辊的纵向方向上从所述显影剂输送单元延伸，并且包括用于排出多余的显影剂的显影剂排出端口。空气排出端口容纳过滤器以过滤显影剂，所述空气排出端口被提供在所述显影剂输送单元和所述显影剂排出单元之间以排出所述显影剂输送单元中的空气。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 用于 释放 内部 压力 结构 显影 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于惠普发展公司，有限责任合伙企业，未经惠普发展公司，有限责任合伙企业许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201980049817.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：半导体装置
- 下一篇：用于重分配层工艺的替代集成
