[发明专利]高频加热装置有效

专利信息
申请号: 201980050098.2 申请日: 2019-08-01
公开(公告)号: CN112534965B 公开(公告)日: 2023-08-15
发明(设计)人: 夘野高史;细川大介;小笠原史太佳;福井干男;吉野浩二;大森义治 申请(专利权)人: 松下知识产权经营株式会社
主分类号: H05B6/54 分类号: H05B6/54
代理公司: 北京三友知识产权代理有限公司 11127 代理人: 邓毅;黄纶伟
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 高频加热装置(1A)具有平板状的第1电极(11)、平板状的多个第2电极(12)、高频电源(20)、匹配部(30)、控制部(40)和电场调整部(50)。多个第2电极(12)与第1电极(11)相对配置。高频电源(20)对第1电极(11)施加高频电压。匹配部(30)配置在第1电极(11)和高频电源(20)之间,取得与高频电源(20)的阻抗匹配。控制部(40)控制高频电源(20)。电场调整部(50)对第1电极(11)与多个第2电极(12)之间形成的多个区域中的电场强度分别独立地进行调整。根据本方式,能够降低加热不均。
搜索关键词: 高频 加热 装置
【主权项】:
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