[发明专利]用于气体感测的系统、装置和方法在审

专利信息
申请号: 201980050247.5 申请日: 2019-06-07
公开(公告)号: CN112585457A 公开(公告)日: 2021-03-30
发明(设计)人: M·舒拉克;M·D·毕晓普 申请(专利权)人: 麻省理工学院
主分类号: G01N27/414 分类号: G01N27/414
代理公司: 北京坤瑞律师事务所 11494 代理人: 封新琴
地址: 美国马*** 国省代码: 暂无信息
权利要求书: 暂无信息 说明书: 暂无信息
摘要: 一种单片三维(3D)集成电路(IC)装置包括感测层、存储器层和处理层。所述感测层包括多个碳纳米管场效应晶体管(CNFET),所述碳纳米管场效应晶体管用至少50种功能材料功能化以响应于暴露于气体而生成数据。所述存储器层存储由所述多个CNFET生成的数据,并且所述处理层基于由所述多个CNFET生成的数据识别所述气体的一种或多种组分。
搜索关键词: 用于 气体 系统 装置 方法
【主权项】:
暂无信息
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