[发明专利]确定激光加工头与工件距离的测量设备、激光加工系统和确定激光加工头与工件距离的方法有效
| 申请号： | 201980050647.6 | 申请日： | 2019-06-06 |
| 公开（公告）号： | CN112513562B | 公开（公告）日： | 2022-08-23 |
| 发明（设计）人： | M·斯特雷贝尔 | 申请（专利权）人： | 普雷茨特两合公司 |
| 主分类号： | G01B9/02091 | 分类号： | G01B9/02091;B23K26/03;G01B11/02 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 郭毅 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于确定用于激光加工系统(100)的加工头(101)与工件之间(1)的距离的测量装置，加工头(101)设置用于借助激光束(10)加工工件(1)。测量设备包括一个光学相干断层仪(120)，光学相干断层仪设置用于测量加工头(101)和工件(1)之间的距离，其中，由测量光源在光学相干断层仪(120)中产生并从工件(1)反射的测量光(13)与具有两个或更多的参考级的参考臂(200，300)中反射的测量光干涉。两个或更多的参考级包括第一参考级(210)，第一参考级设置成，在第一参考级(210)中反射的测量经过第一光学路径长度，以及第二参考级(220)，第二参考级设置成，在第二参考级(220)中反射的测量光经过与第一光学路径长度不同的第二光学路径长度，其中，从工件(1)反射的测量光与第一参考级(210)的反射测量光以及与第二参考级(220)的反射测量光干涉。 | ||
| 搜索关键词： | 确定 激光 工头 工件 距离 测量 设备 加工 系统 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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