[发明专利]用于等离子体室的L形等离子体约束环在审
| 申请号： | 201980050977.5 | 申请日： | 2019-08-05 |
| 公开（公告）号： | CN112534543A | 公开（公告）日： | 2021-03-19 |
| 发明（设计）人： | 陈继宏;宋轶 | 申请（专利权）人： | 希尔福克斯有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;C23C16/458;C23C14/50;H01L21/687 |
| 代理公司： | 上海胜康律师事务所 31263 | 代理人： | 樊英如;邱晓敏 |
| 地址： | 美国俄*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种用于等离子体室的等离子体约束环包含环形元件和圆柱形元件。所述环形元件环绕所述等离子体室中的衬底支撑组件，并沿着被放置在所述等离子体室中的所述衬底支撑组件上的衬底所在的平面配置，所述环形元件包含多个孔洞。所述等离子体约束环的所述圆柱形元件从所述环形元件的外缘沿与被放置在所述等离子体室中的所述衬底支撑组件上的所述衬底所在的所述平面垂直的方向延伸。所述等离子体约束环为单件式的。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 等离子体 约束 | ||
【主权项】：
暂无信息
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