[发明专利]用于利用等离子体的工件加工的系统在审
| 申请号： | 201980051030.6 | 申请日： | 2019-06-10 |
| 公开（公告）号： | CN112673450A | 公开（公告）日： | 2021-04-16 |
| 发明（设计）人： | 托马斯·V·博尔登;詹姆斯·哈尔劳恩;鲍勃·康德拉少弗;约翰·吉尼 | 申请（专利权）人： | 诺信公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01L21/67 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 沈同全;车文 |
| 地址： | 美国俄*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 描述了包括工件保持器组件的热隔离的、用于利用等离子体加工工件的系统、方法和设备。设备包括以下腔室，该腔室至少部分地限定用于生成等离子体的加工空间。该设备包括基部组件，该基部组件至少部分地限定腔室的下端并且具有内周边，该内周边限定基部组件中的开口。该设备进一步包括工件保持器组件，该工件保持器组件至少部分地位于开口内。工件保持器组件包括一个或多个加热元件和本体，该本体具有被构造成接收工件的上表面。在基部组件的内周边和本体的外周边之间限定了间隙。间隙被构造成将基部组件与本体热隔离。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 利用 等离子体 工件 加工 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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