[发明专利]用于检查和/或处理样品的设备和方法在审
| 申请号： | 201980051063.0 | 申请日： | 2019-06-19 |
| 公开（公告）号： | CN112534540A | 公开（公告）日： | 2021-03-19 |
| 发明（设计）人： | C.鲍尔;M.布达赫 | 申请（专利权）人： | 卡尔蔡司SMT有限责任公司 |
| 主分类号： | H01J37/28 | 分类号： | H01J37/28;G01Q20/00;G01Q30/02 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 王蕊瑞 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及用于检查和/或处理样品(400、2010)的设备(2400、2600)，所述设备包括：(a)用于提供带电粒子束(840)的扫描粒子显微镜(2410)，该带电粒子束可以被指引在样品(400，2010)的表面上；(b)具有可偏转探针(200、500、800、900、1000、1100、1200、1300、1500、1600、1640、1670、2600)的扫描探针显微镜(2470)；(c)其中，检测结构(230、530、1030、1130、133、30、1630、1690、2630)附接到可偏转探针(200、500、800、900、1000、100、1200、1300、1500、1600、1640、1670、2600)。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 检查 处理 样品 设备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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