[发明专利]感光树脂组合物、抗蚀剂图案的形成方法、镀敷造形物的制造方法及半导体装置在审
| 申请号： | 201980051934.9 | 申请日： | 2019-06-14 |
| 公开（公告）号： | CN112534353A | 公开（公告）日： | 2021-03-19 |
| 发明（设计）人： | 榊原宏和;西口直希;谷口拓弘;松本朋之 | 申请（专利权）人： | JSR株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/039 | 分类号： | G03F7/039;C08F220/12;G03F7/20;G03F7/40;H01L21/60 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 马爽;臧建明 |
| 地址： | 日本东京港区东新桥一丁*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
本发明的目的在于提供一种可形成分辨性优异、且能够应对铜镀敷及镍镀敷的抗蚀剂图案的感光性树脂组合物、使用所述感光性树脂组合物的抗蚀剂图案的形成方法、使用所述抗蚀剂图案的镀敷造形物的制造方法、具有镀敷造形物的半导体装置，本组合物含有聚合物(A)及光酸产生剂(B)，所述聚合物(A)具有下述式(a1)所表示的结构单元(a1)、下述式(a2)所表示的结构单元(a2)、及下述式(a3)所表示的结构单元(a3)。式(a3)中，R |
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| 搜索关键词： | 感光 树脂 组合 抗蚀剂 图案 形成 方法 造形 制造 半导体 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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