[发明专利]用于RF等离子体反应器的等离子体鞘控制在审
| 申请号： | 201980051988.5 | 申请日： | 2019-08-09 |
| 公开（公告）号： | CN112805920A | 公开（公告）日： | 2021-05-14 |
| 发明（设计）人： | 艾丽亚·斯劳伯道夫;迪麦西·津巴;肯尼斯·米勒;詹姆斯·普拉格 | 申请（专利权）人： | 鹰港科技有限公司 |
| 主分类号： | H03K3/57 | 分类号： | H03K3/57 |
| 代理公司： | 上海君立衡知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31389 | 代理人： | 黄庆 |
| 地址： | 美国华盛顿*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一些实施例包括一种等离子体鞘控制系统，其包括：RF电源，其产生具有大于20kHz的频率和大于1kV的峰值电压的正弦波形；和等离子体腔室，其与所述RF电源电耦合，所述等离子体腔室具有通过大于大约1kV的能量受加速到所部署的表面中的多个离子，并且所述等离子体腔室从所述正弦波形在所述等离子体腔室内产生等离子体鞘。所述等离子体鞘控制系统包括：阻流二极管，其电连接在所述RF电源与所述等离子体腔室之间；和电容放电电路，其与所述RF电源、所述等离子体腔室和所述阻流二极管电耦合；所述电容放电电路通过大于1kV的峰值电压并且通过小于250纳秒的放电时间使所述等离子体腔室内的电容电荷放电。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 rf 等离子体 反应器 控制 | ||
【主权项】：
暂无信息
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