[发明专利]用于基于电子全息术检测测量值的设备和方法有效

专利信息
申请号: 201980052227.1 申请日: 2019-06-28
公开(公告)号: CN112534358B 公开(公告)日: 2023-07-04
发明(设计)人: 托尔加·瓦格纳;米夏埃尔·莱曼;托雷·尼尔曼 申请(专利权)人: 柏林工业大学
主分类号: G03H5/00 分类号: G03H5/00;G03H1/22;G01R31/305;H01J37/26
代理公司: 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 代理人: 潘小军;杨靖
地址: 德国*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 发明涉及一种用于检测测量值(M)的方法。根据本发明设置的是,将具有或不具有叠加的直流分量(Uoffset)的、具有预给定的激励频率(f)的正弦的激励信号(Ue)馈送给元器件(100、C)的输入端,执行至少一个电子全息术测量步骤,在其中,将电子束(Se)对准元器件(100、C),该电子束穿过和/或经过元器件(100、C),并且随后与参考电子束(Sr)叠加,并且测量在预给定的测量窗(F)期间通过两个电子束(Se、Sr)的干涉产生的电子全息图影(EHG)并且由此获知相位图像(PB),并且根据相位图像(PB)形成测量值(M),其中,电子全息术测量步骤的测量窗(F)的时间长度(Tf)小于正弦的激励信号(Ue)的周期持续时间(T)的一半。
搜索关键词: 用于 基于 电子 全息 检测 测量 设备 方法
【主权项】:
暂无信息
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