[发明专利]感光性树脂组合物、抗蚀剂图案的形成方法、以及镀覆造形物的制造方法在审
| 申请号： | 201980052361.1 | 申请日： | 2019-09-11 |
| 公开（公告）号： | CN112585535A | 公开（公告）日： | 2021-03-30 |
| 发明（设计）人： | 木村优;石川弘树;松本朋之;佐藤庆一 | 申请（专利权）人： | JSR株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;C08F2/44;G03F7/031;G03F7/20;G03F7/40 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 杨贝贝;臧建明 |
| 地址： | 日本东京港*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明是一种感光性树脂组合物，其特征在于含有聚合性化合物(A)、光自由基聚合引发剂(B)、硫醇化合物(C)、以及聚合抑制剂(D)，且所述硫醇化合物(C)的含量相对于所述聚合性化合物(A)100质量份而为5质量份～50质量份，所述聚合抑制剂(D)的含量相对于所述聚合性化合物(A)100质量份而为1质量份～10质量份。本发明可提供一种在明视场与暗视场两者中曝光量宽容度(EL)宽的感光性树脂组合物。可提供一种使用所述感光性树脂组合物能够在明视场与暗视场两者中精度佳地形成微细抗蚀剂图案的抗蚀剂图案的形成方法。可提供一种使用通过所述抗蚀剂图案的形成方法所形成的抗蚀剂图案能够制造精度佳、微细的镀覆造形物的镀覆造形物的制造方法。 | ||
| 搜索关键词： | 感光性 树脂 组合 抗蚀剂 图案 形成 方法 以及 镀覆 造形 制造 | ||
【主权项】：
暂无信息
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