[发明专利]使用图像品质度量的量测数据校正在审
| 申请号： | 201980053080.8 | 申请日： | 2019-08-14 |
| 公开（公告）号： | CN112689801A | 公开（公告）日： | 2021-04-20 |
| 发明（设计）人： | 王富明;S·洪舍;方伟 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 王茂华;胡良均 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本公开描述了一种用于校正图案化过程的量测数据的方法。方法包括：获得(P92)(i)经历图案化过程的衬底的量测数据(901)和(ii)量化衬底的量测数据的品质的品质度量(902，例如聚焦指数)；建立(P94)品质度量与量测数据之间的相关性；以及基于品质度量与量测数据之间的相关性来确定(P96)对量测数据的校正。 | ||
| 搜索关键词： | 使用 图像 品质 度量 数据 校正 | ||
【主权项】：
暂无信息
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