[发明专利]针对具有复杂几何形状的物体使用3D成像和表面减影方法测量热障涂层的厚度在审
申请号: | 201980053426.4 | 申请日: | 2019-07-10 |
公开(公告)号: | CN112567197A | 公开(公告)日: | 2021-03-26 |
发明(设计)人: | K·C·拉哈万;大卫·亚历山大·布里兹 | 申请(专利权)人: | 应用材料公司 |
主分类号: | G01B11/06 | 分类号: | G01B11/06;G01B11/24;G06T7/00 |
代理公司: | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人: | 徐金国;赵静 |
地址: | 美国加利*** | 国省代码: | 暂无信息 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本文中描述的实施方式涉及一种用于确定三维(3D)物体的涂层厚度的非破坏性测量装置和非破坏性测量方法。在一个实施方式中,采集所述物体的未涂覆表面的至少一个第一3D图像和所述物体的涂覆表面的至少一个第二3D图像并对其进行分析,以确定所述物体的所述涂层厚度。 | ||
搜索关键词: | 针对 具有 复杂 几何 形状 物体 使用 成像 表面 方法 测量 热障 涂层 厚度 | ||
【主权项】:
暂无信息
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