[发明专利]具有增进效率的扫描磁体设计在审
| 申请号： | 201980053599.6 | 申请日： | 2019-08-21 |
| 公开（公告）号： | CN112567492A | 公开（公告）日： | 2021-03-26 |
| 发明（设计）人： | 伯·范德伯格;爱德华·艾伊斯勒 | 申请（专利权）人： | 艾克塞利斯科技公司 |
| 主分类号： | H01J37/147 | 分类号： | H01J37/147;H01J37/317;H01F3/02;H01F7/20;G21K1/093;G21K5/00 |
| 代理公司： | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 11019 | 代理人： | 寿宁;张琳 |
| 地址： | 美国马萨诸塞州*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 扫描磁体位于离子注入系统的质量分辨磁体的下游，并且被配置为控制质量分辨磁体下游的离子束路径以用于扫描或抖动离子束。扫描磁体具有其中界定有通道的轭部。轭部是含铁的并且具有第一侧和第二侧以界定离子束的对应入口和出口。轭部具有从第一侧到第二侧所堆栈的多个层合物，其中与第一侧和第二侧相关联的多个层合物的至少一部分包括一个或多个槽口式层合物，一个或多个槽口式层合物具有界定在其中的多个槽口。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 增进 效率 扫描 磁体 设计 | ||
【主权项】：
暂无信息
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