[发明专利]用于校准物体装载过程的平台设备和方法在审
| 申请号： | 201980054289.6 | 申请日： | 2019-07-22 |
| 公开（公告）号： | CN112585539A | 公开（公告）日： | 2021-03-30 |
| 发明（设计）人： | G·克拉默;T·M·奈格泰格尔;A·斯克鲁德尔;A·C·沃凯克 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H01L21/67;H01L21/68;G03F9/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 张启程 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明提供一种平台设备，所述平台设备包括物体支撑件，所述物体支撑件包括在第一平面上具有外半径的环形突起，并且所述物体支撑件被配置成支撑在所述第一平面上具有大于所述环形突起的所述外半径的半径的物体。所述平台设备还包括传感器模块，所述传感器模块被配置成检测所述物体支撑件和当所述物体被布置于所述物体支撑件上时的所述物体。所述平台设备还包括处理单元，所述处理单元被配置成接收来自所述传感器模块的一个或更多个信号，并且被配置成在所述物体被布置于所述物体支撑件上时，基于所述一个或更多个信号确定所述物体相对于所述环形突起的位置。所述处理单元还被配置成基于所述物体的位置来确定表示所述物体相对于所述环形突起的位置的偏移值。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 校准 物体 装载 过程 平台 设备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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