[发明专利]用于制备无定形硼硅酸锂的方法有效
| 申请号： | 201980054440.6 | 申请日： | 2019-08-29 |
| 公开（公告）号： | CN112585294B | 公开（公告）日： | 2023-06-13 |
| 发明（设计）人： | G.阿雷斯塔;D.M.劳夫曼;B.E.海登;S.格林 | 申请（专利权）人： | 伊利卡科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/08 | 分类号： | C23C14/08;C23C14/00;C23C14/24;C03C4/18;C23C14/06;H01M4/04;H01M4/1391;H01M10/052;H01M10/0562;H01M10/058 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 凌志军 |
| 地址： | 英国英格*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
本发明提供用于制备无定形硼硅酸锂化合物或掺杂的硼硅酸锂化合物的气相沉积方法，所述方法包括：提供所述化合物的每种组分元素的蒸气源，其中所述蒸气源至少包括锂源、氧源、硼源和硅源、以及任选的至少一种掺杂剂元素源；以低于约180℃的温度提供基底；输送所述锂、所述氧、所述硼和所述硅以及任选的所述掺杂剂元素的流，其中所述氧的流速为至少约8×10 |
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| 搜索关键词： | 用于 制备 无定形 硅酸 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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