[发明专利]图案化材料和膜以及用于制备其的系统和方法在审
| 申请号： | 201980054705.2 | 申请日： | 2019-08-20 |
| 公开（公告）号： | CN112585541A | 公开（公告）日： | 2021-03-30 |
| 发明（设计）人： | D·S·麦克拜恩;P·F·狄克逊;J·宋;G·R·英格利史;贾森·L·斯特拉德 | 申请（专利权）人： | 莱尔德技术股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H01L21/027;H01L21/324;H01L21/67;H01L51/00 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 游雷;王小东 |
| 地址： | 美国密*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 公开了图案化材料和膜(例如，多层膜、均质或单层膜等)的示例性实施方式。膜和图案化材料可具有受控和/或特制的性能(例如，热管理、电磁干扰(EMI)减轻、电导率、热导率、EMI吸收、磁、介电和/或结构性能等)。还公开了用于制备这样的图案化材料和膜的系统和方法的示例性实施方式。在示例性实施方式中，热管理和/或电磁干扰(EMI)减轻材料包括填充电介质，其包括沿着填充电介质的至少一侧向外突出的一个或更多个结构的图案。 | ||
| 搜索关键词： | 图案 材料 以及 用于 制备 系统 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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