[发明专利]脉冲展宽器及方法在审
| 申请号： | 201980054804.0 | 申请日： | 2019-08-05 |
| 公开（公告）号： | CN112585542A | 公开（公告）日： | 2021-03-30 |
| 发明（设计）人： | H·P·戈德弗里德;W·P·E·M·奥普特·鲁特 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G02B27/14;G02B27/48 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 王茂华;杨飞 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 一种用于增加脉冲式辐射束的脉冲长度的装置(10)，该装置包括：分束器(16)，被配置为将输入辐射束(18)分成第一光束(24)和第二光束(22)；光学器件(12、14)，其中分束器和光学器件被配置为使得在光学器件所引起的第一光束的光学延迟之后，第一光束的至少一部分与第二光束重新组合为经修改光束；以及至少一个光学元件(30)，位于第一光束的光路中，该至少一个光学元件被配置为使得第一光束的波前的不同部分的相位发生变化，以减小第一光束与第二光束之间的相干性。 | ||
| 搜索关键词： | 脉冲 展宽 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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