[发明专利]3D逻辑和存储器的配电网络有效
申请号: | 201980055054.9 | 申请日: | 2019-09-04 |
公开(公告)号: | CN112585752B | 公开(公告)日: | 2023-09-19 |
发明(设计)人: | 拉尔斯·利布曼;安东·德维利耶;杰弗里·史密斯;坎达巴拉·塔皮利 | 申请(专利权)人: | 东京毅力科创株式会社 |
主分类号: | H10B10/00 | 分类号: | H10B10/00 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 陈炜;李德山 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 提供了一种半导体器件。该半导体器件包括晶体管堆叠,该晶体管堆叠具有堆叠在衬底上方的多个晶体管对。该多个晶体管对中的每个晶体管对包括堆叠在彼此上方的n型晶体管和p型晶体管。该多个晶体管对具有:堆叠在该衬底上方并电耦合到该多个晶体管对的栅极结构的多个栅极电极、以及堆叠在该衬底上方并且电耦合到该多个晶体管对的源极区域和漏极区域的多个源极/漏极(S/D)局部互连。该半导体器件进一步包括在该衬底上方形成的一个或多个导电平面。该一个或多个导电平面被定位成与该晶体管堆叠相邻、跨越该晶体管堆叠的高度并且电耦合到该晶体管堆叠。 | ||
搜索关键词: | 逻辑 存储器 配电 网络 | ||
【主权项】:
暂无信息
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