[发明专利]低温泵及低温泵的监视方法有效
| 申请号： | 201980055056.8 | 申请日： | 2019-08-01 |
| 公开（公告）号： | CN112639288B | 公开（公告）日： | 2022-05-13 |
| 发明（设计）人： | 谷津贵裕 | 申请（专利权）人： | 住友重机械工业株式会社 |
| 主分类号： | F04B37/08 | 分类号： | F04B37/08;F04B37/16 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 郝传鑫 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 低温泵(10)具有气体的冷凝层的容纳空间(65)，并且具备：第1级低温板(18)，具有以包围容纳空间(65)的方式配置的第1级低温板内表面；及第2级低温板(20)，其配置成与容纳空间(65)一起被第1级低温板内表面包围。第1级热负荷从低温泵(10)的外部通过进气口(12)入射于第1级低温板内表面，气体从低温泵(10)的外部进入容纳空间(65)。第1级低温板(18)被冷却至比气体的冷凝温度更高的温度，第2级低温板(20)被冷却至气体的冷凝温度以下的温度，气体的冷凝层堆积在其上。低温泵(10)基于第1级热负荷的变化来监视容纳空间(65)内的冷凝气体量。 | ||
| 搜索关键词： | 低温泵 监视 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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