[发明专利]用于使测试基板、探针和检查单元相对彼此定位的方法以及用于实施该方法的试验机在审
| 申请号： | 201980055304.9 | 申请日： | 2019-09-04 |
| 公开（公告）号： | CN112585485A | 公开（公告）日： | 2021-03-30 |
| 发明（设计）人： | A·J·洛德;P·D·安德鲁斯;F·蒂勒;J·克莱特霍夫;G·费希尔;R·克勒尔;P·施耐德;E·赫茨;H-J·弗莱舍尔;J·基塞韦特 | 申请（专利权）人： | 佛姆费克托有限责任公司 |
| 主分类号： | G01R31/28 | 分类号： | G01R31/28 |
| 代理公司： | 深圳市百瑞专利商标事务所(普通合伙) 44240 | 代理人： | 金辉 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明涉及一种用于使测试基板(5)、探针(6)和检查单元(9)相对彼此定位的方法和试验机(1)，其中，测试基板(5)和探针(6)至少在X‑Y‑平面中以期望的相对位置彼此定向并且检查单元(9)以这种Z‑位置在相对位置之上移动，在该相对位置中将检查单元(9)的焦点设定到测试基板(5)的观察点上。为了简化以及加速检查单元(9)的跟随，测试基板(5)和检查单元(9)从该初始位置开始同步地沿Z‑方向运动，使得保持焦点平面。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 测试 探针 检查 单元 相对 彼此 定位 方法 以及 实施 试验 | ||
【主权项】：
暂无信息
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