[发明专利]匹配光瞳确定在审
| 申请号： | 201980055414.5 | 申请日： | 2019-08-12 |
| 公开（公告）号： | CN112602007A | 公开（公告）日： | 2021-04-02 |
| 发明（设计）人： | A·B·范奥斯汀 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G02B27/09 | 分类号： | G02B27/09;G03F7/00;G02B26/08;G03F7/20 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 王益 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本文中所描述的是一种用于减少设备性能变化的方法。所述方法包括：获得(i)参考设备(例如参考扫描器)的参考性能(例如CD)、(ii)从被选择用以再现所述参考性能的设备(例如，待匹配的扫描器)的多个光瞳琢面反射镜的多个自由度中所选择的一组初始引导自由度、以及(iii)与所述图案化过程的基于所述一组初始引导自由度来指示所述设备的性能的一个或更多个参数有关的曝光数据(例如CD、重叠、聚焦等)；和基于所述一组初始引导自由度来确定所述设备的匹配光瞳、和所述曝光数据，使得所述匹配光瞳减少所述设备的性能与所述参考性能之间的差异。 | ||
| 搜索关键词： | 匹配 确定 | ||
【主权项】：
暂无信息
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