[发明专利]金属硫属元素化物的连续薄膜在审
| 申请号： | 201980056165.1 | 申请日： | 2019-09-06 |
| 公开（公告）号： | CN112639975A | 公开（公告）日： | 2021-04-09 |
| 发明（设计）人： | 罗建平;傅淑梅 | 申请（专利权）人： | 新加坡国立大学 |
| 主分类号： | G11C11/22 | 分类号： | G11C11/22;C01B19/04;C01B17/00;C23C14/24;H01L27/115 |
| 代理公司： | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 吴小瑛;张福根 |
| 地址： | 新加坡*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
提供了一种包含金属硫属元素化物的连续薄膜，其中所述金属选自第13或14周期族，并且硫属元素是：硫(S)、硒化物(Se)或碲(Te)，并且其中所述薄膜的厚度≤20nm。还提供了形成连续薄膜的方法。在特定实施方案中，使用分子束外延(MBE)从两种前体(In |
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| 搜索关键词： | 金属 元素 连续 薄膜 | ||
【主权项】：
暂无信息
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