[发明专利]蒸镀掩模中间体、蒸镀掩膜及蒸镀掩模的制造方法有效
| 申请号： | 201980057322.0 | 申请日： | 2019-09-06 |
| 公开（公告）号： | CN112639157B | 公开（公告）日： | 2022-04-29 |
| 发明（设计）人： | 西刚广;山本龙彦;小林昭彦 | 申请（专利权）人： | 凸版印刷株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 戚宏梅 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 蒸镀掩模中间体具备具有追随蒸镀掩模的边缘的形状的带状部、具备具有追随带状部的边缘的形状的内侧边缘且包围带状部的框状部、以及将带状部的边缘与框状部的内侧边缘连接的多个跨接部。带状部通过各跨接部的切断而形成蒸镀掩模。在带状部的边缘设置有具有追随缺口的底部的形状的弯曲部，各跨接部与带状部的边缘中的除弯曲部以外的部位连接。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸镀掩模 中间体 蒸镀掩膜 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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