[发明专利]制造CEM器件的方法在审

专利信息
申请号: 201980058328.X 申请日: 2019-07-31
公开(公告)号: CN112640139A 公开(公告)日: 2021-04-09
发明(设计)人: 卡洛斯·阿尔贝托·巴斯德阿劳乔;乔兰塔·博兹纳·塞林斯卡;卢西安·希夫伦 申请(专利权)人: 切尔费实验室公司
主分类号: H01L45/00 分类号: H01L45/00
代理公司: 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 11258 代理人: 桑敏
地址: 美国德*** 国省代码: 暂无信息
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 一种制造相关电子材料器件的方法,该方法包括形成导电衬底并在导电衬底上形成相关电子材料层,其中,形成相关电子材料层包括:形成富含金属的过渡金属化合物层或其他金属化合物层;以及在包含气态前驱体的气氛中对富含金属的过渡金属化合物层或其他金属化合物层进行退火,该气态前驱体用于电子回捐外源配体,该电子回捐外源配体能占据过渡金属化合物或其他金属化合物中的阴离子空位;其中,退火使得过渡金属化合物或其他金属化合物内的阴离子空位被电子回捐外源配体占据;并且其中,退火在预定温度被进行预定时间,从而激活从过渡金属阳离子或其他金属阳离子向占据阴离子空位的电子回捐外源配体的电子回捐。
搜索关键词: 制造 cem 器件 方法
【主权项】:
暂无信息
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