[发明专利]用于高效节能地电化学生产氢化物气体的方法和设备在审
| 申请号： | 201980059290.8 | 申请日： | 2019-11-27 |
| 公开（公告）号： | CN112703274A | 公开（公告）日： | 2021-04-23 |
| 发明（设计）人： | W·M·阿耶尔斯 | 申请（专利权）人： | 阿耶尔斯集团有限责任公司 |
| 主分类号： | C25B9/40 | 分类号： | C25B9/40;C25B15/08;C25B15/02;C25B1/00;C25B11/03 |
| 代理公司： | 北京戈程知识产权代理有限公司 11314 | 代理人： | 程伟;李兵霞 |
| 地址： | 美国新*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 所描述的是用于产生高纯度氢化物气体的电化学系统和方法，所述氢化物气体例如用于输送至半导体制造反应器。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 高效 节能 地电 化学 生产 氢化物 气体 方法 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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