[发明专利]用于气体放电台的本体的量测在审
| 申请号： | 201980059291.2 | 申请日： | 2019-08-15 |
| 公开（公告）号： | CN112703451A | 公开（公告）日： | 2021-04-23 |
| 发明（设计）人： | A·多罗班图;J·A·科亨;K·R·古文丹·拉朱;W·D·吉莱斯皮;E·S·格罗斯;R·C·乌亚德沃斯基 | 申请（专利权）人： | 西默有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F9/02 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 王茂华 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种光源装置包括气体放电台，其包括：三维本体，该三维本体限定空腔，该空腔被配置为与能量源交互，该本体包括至少两个端口，该至少两个端口可以透射波长在紫外线范围内的光束；传感器系统，其包括多个传感器，每个传感器被配置为测量气体放电台的本体的相应不同区域相对于该传感器的物理方面；以及控制装置，其与传感器系统通信。控制装置被配置为分析从传感器测量的物理方面，从而确定气体放电台的本体在X轴所限定的XYZ坐标系中的位置，其中X轴由气体放电台的几何形状限定。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 气体 电台 本体 | ||
【主权项】：
暂无信息
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