[发明专利]用于监测束轮廓和功率的方法和装置在审
| 申请号： | 201980059911.2 | 申请日： | 2019-08-26 |
| 公开（公告）号： | CN112840432A | 公开（公告）日： | 2021-05-25 |
| 发明（设计）人： | 张剑;叶宁;黄丹靖;詹秉达 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/22 | 分类号： | H01J37/22;H01J37/02;G01J1/42 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 董莘 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供了一种用于在检查系统中监测束(322)的系统和方法。该系统包括：被配置为收集形成在表面(340)上的束的束斑的图像序列的图像传感器(360)，图像序列中的每个图像已经在图像传感器的不同曝光时间被收集；以及被配置为组合图像序列以得出束的束轮廓的控制器(380)。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 监测 轮廓 功率 方法 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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