[发明专利]高温红外辐射器元件和方法在审
| 申请号： | 201980060146.6 | 申请日： | 2019-07-15 |
| 公开（公告）号： | CN113196871A | 公开（公告）日： | 2021-07-30 |
| 发明（设计）人： | 马蒂亚斯·因博登 | 申请（专利权）人： | 4K微机电系统有限责任公司 |
| 主分类号： | H05B3/14 | 分类号： | H05B3/14 |
| 代理公司： | 北京金恒联合知识产权代理事务所 11324 | 代理人： | 李强 |
| 地址： | 瑞士纳沙泰*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
一种红外辐射器元件(1)，适合用作气体传感器/红外光谱仪或电子显微镜中的微型红外发射器(微型热板)。该微型热板包括由多个支撑臂(4)支撑的板(2)。板和臂被制造为包括单个连续的导电耐火陶瓷片，如碳化铪(HfC)或碳化铪钽(TaHfC)的MEMS装置。每个臂(4)除了为板(2)提供结构悬臂支撑之外，还用作板(2)的加热元件。通过在臂(4)上施加电压来加热板(2)。臂(4)也可被成形为吸收在臂和板的加热和冷却期间出现的热机械应力。例如，可将面积小于0.05mm |
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| 搜索关键词： | 高温 红外 辐射器 元件 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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