[发明专利]噻吨酮衍生物、包含其的组合物和包含所述组合物的图案形成方法在审
| 申请号： | 201980060621.X | 申请日： | 2019-07-18 |
| 公开（公告）号： | CN112969965A | 公开（公告）日： | 2021-06-15 |
| 发明（设计）人： | C.沃尔;S.纳加哈拉 | 申请（专利权）人： | 林特弗德有限公司;东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;G03F7/038;C07D335/12;C07D335/16;C07D495/06;C07D495/10;C07D495/20 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 詹承斌;宋莉 |
| 地址： | 英国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 描述了潜伏型的光引发剂化合物，以及含有这样的化合物的组合物和其在用于制备光致抗蚀剂结构体的光引发的方法中的用途。 | ||
| 搜索关键词： | 噻吨酮 衍生物 包含 组合 图案 形成 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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