[发明专利]衬底处理方法及衬底处理装置

摘要

本发明的衬底处理方法对正面具有图案的衬底进行处理，且包含：混合干燥辅助物质供给步骤，将混合干燥辅助物质供给至所述衬底的正面，在所述衬底的正面形成所述混合干燥辅助物质的液膜，所述混合干燥辅助物质由作为无极性物质的干燥辅助物质与具有两亲性的溶剂混合所得，且具有比所述干燥辅助物质的凝固点低的凝固点；凝固膜形成步骤，通过使所述混合干燥辅助物质的液膜中包含的所述干燥辅助物质凝固而形成包含所述干燥辅助物质的凝固膜；及去除步骤，使所述凝固膜中包含的所述干燥辅助物质不经过液体状态地变化为气体而将它从所述衬底的正面去除。所述凝固膜形成步骤包含供给液接液步骤，所述供给液接液步骤是使种类与所述干燥辅助物质及所述溶剂不同且为极性物质的供给液接液于所述混合干燥辅助物质的液膜，随着溶入到所述混合干燥辅助物质的所述溶剂从所述混合干燥辅助物质向所述供给液移动而该液膜中的所述干燥辅助物质的浓度上升，从而使所述干燥辅助物质析出，由此形成所述凝固膜。