[发明专利]压电器件及压电器件的制造方法在审
申请号: | 201980062331.9 | 申请日: | 2019-09-20 |
公开(公告)号: | CN112740429A | 公开(公告)日: | 2021-04-30 |
发明(设计)人: | 中村大辅;永冈直树;黑濑爱美;待永广宣 | 申请(专利权)人: | 日东电工株式会社 |
主分类号: | H01L41/187 | 分类号: | H01L41/187;C23C14/08;H01L41/053;H01L41/316;H01L41/319 |
代理公司: | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人: | 杨宏军 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 改善压电器件的光学特性与压电特性的至少一者。压电器件具有第1电极层、第2电极层、以及上述第1电极与第2电极之间所配置的至少1层压电体层,上述压电体层将纤锌矿型的结晶材料作为主成分,并添加有通过形成氧化物而具有透明性的元素1种以上,雾度值为3.0%以下,相对于波长380nm的光的透射率为50%以上。 | ||
搜索关键词: | 压电 器件 制造 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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