[发明专利]压电器件及压电器件的制造方法在审
申请号: | 201980062415.2 | 申请日: | 2019-09-20 |
公开(公告)号: | CN112740430A | 公开(公告)日: | 2021-04-30 |
发明(设计)人: | 永冈直树;中村大辅 | 申请(专利权)人: | 日东电工株式会社 |
主分类号: | H01L41/313 | 分类号: | H01L41/313;C23C14/50;H01L41/113;H01L41/187;H01L41/319 |
代理公司: | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人: | 杨宏军 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 抑制压电器件中电极间的泄漏而维持良好的压电特性。压电器件在第1基材上,依次配置有第1导电膜、无机材料的压电体层、粘着层以及第2导电膜。 | ||
搜索关键词: | 压电 器件 制造 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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