[发明专利]具有电容式剪力传感器的抛光系统有效
| 申请号： | 201980062694.2 | 申请日： | 2019-07-25 |
| 公开（公告）号： | CN112770872B | 公开（公告）日： | 2023-07-14 |
| 发明（设计）人： | 尼古拉斯·韦斯威尔;周志忠;多米尼克·J·本维奴 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | B24B49/00 | 分类号： | B24B49/00;H01L21/67;H01L21/304;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种化学机械抛光系统包括：压板，用以支撑抛光垫；承载头，用以保持基板并且使基板的下表面与抛光垫接触；和原位摩擦监测系统，包括摩擦传感器。摩擦传感器包括：垫部分，所述垫部分具有基板接触部分，基板接触部分具有与基板的下表面接触的上表面；和一对电容式传感器，位于基板接触部分的下方并且位于基板接触部分的相对侧上。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 电容 剪力 传感器 抛光 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于应用材料公司，未经应用材料公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201980062694.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：聚四氟乙烯的制造方法
- 下一篇：蛋白质纺纱的制造方法
