[发明专利]氢氧化季铵的有机溶剂溶液的制造方法有效
| 申请号： | 201980062734.3 | 申请日： | 2019-09-26 |
| 公开（公告）号： | CN112752746B | 公开（公告）日： | 2023-07-28 |
| 发明（设计）人： | 橘昇二;东野诚司;石津澄人;山下义晶 | 申请（专利权）人： | 株式会社德山 |
| 主分类号： | C07C209/84 | 分类号： | C07C209/84;B01D3/10;C07C209/86;C07C211/63;G03F7/32;G03F7/42 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;李茂家 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种半导体制造用处理液组合物，其特征在于，其包含氢氧化季铵和溶解该氢氧化季铵的第一有机溶剂，第一有机溶剂为具有多个羟基的水溶性有机溶剂，组合物中的水分含量以组合物总量基准计为1.0质量％以下，组合物中的Na、Mg、Al、K、Ca、Ti、Cr、Mn、Fe、Ni、Cu、和Zn的含量以组合物总量基准计分别为100质量ppb以下，组合物中的Cl的含量以组合物总量基准计为100质量ppb以下。 | ||
| 搜索关键词： | 氢氧化 有机溶剂 溶液 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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