[发明专利]异质外延结构,包含异质外延结构的金属叠层体,纳米间隙电极,及其制造方法有效
申请号: | 201980062828.0 | 申请日: | 2019-08-30 |
公开(公告)号: | CN112771202B | 公开(公告)日: | 2023-02-24 |
发明(设计)人: | 真岛豊;崔允永;岛田郁子;远山谅;杨铭悦 | 申请(专利权)人: | 国立研究开发法人科学技术振兴机构 |
主分类号: | C23C18/44 | 分类号: | C23C18/44;B32B15/01;C23C18/31 |
代理公司: | 北京博雅睿泉专利代理事务所(特殊普通合伙) 11442 | 代理人: | 石伟 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 异质外延结构体包括具有多晶结构的第1金属部和第1金属部上的第2金属部,第2金属部在第1金属部上具有岛状结构,第2金属部设置为对应于在第1金属部表面上露出的至少一个晶粒,第2金属部和至少一个晶粒形成异质外延界面。第1金属部包括选自铂(Pt)、钯(Pd)、铑(Rh)、钌(Ru)、锇(Os)、铱(Ir)的一种金属元素,第2金属部优选为金(Au)。 | ||
搜索关键词: | 外延 结构 包含 金属 叠层体 纳米 间隙 电极 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C18-00 通过液态化合物分解抑或覆层形成化合物溶液分解、且覆层中不留存表面材料反应产物的化学镀覆
C23C18-02 .热分解法
C23C18-14 .辐射分解法,例如光分解、粒子辐射
C23C18-16 .还原法或置换法,例如无电流镀
C23C18-54 .接触镀,即无电流化学镀
C23C18-18 ..待镀材料的预处理
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C18-00 通过液态化合物分解抑或覆层形成化合物溶液分解、且覆层中不留存表面材料反应产物的化学镀覆
C23C18-02 .热分解法
C23C18-14 .辐射分解法,例如光分解、粒子辐射
C23C18-16 .还原法或置换法,例如无电流镀
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