[发明专利]提供经过训练的神经网络以及确定实体系统的特性在审
| 申请号： | 201980063253.4 | 申请日： | 2019-08-14 |
| 公开（公告）号： | CN112789558A | 公开（公告）日： | 2021-05-11 |
| 发明（设计）人： | S·阿尔·拉赫曼 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G06N3/04;G06N3/08 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 张启程 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种确定具有材料结构的实体系统的特性的方法，所述特性例如为光学响应，所述材料结构诸如为薄膜多叠置层或其它光学系统，所述方法具有以下步骤：提供(1430)神经网络(1440)，其中基于由所述材料结构沿辐射的路径对所述辐射进行散射的模型(1420)来配置所述神经网络的网络架构；训练(1450)和使用(1460)所述神经网络以确定所述实体系统的所述特性。可以基于所述模型通过对参数进行配置来配置所述网络架构，所述参数包括每个隐藏层的单元的数目、隐藏层的数目、层互连和丢弃。 | ||
| 搜索关键词： | 提供 经过 训练 神经网络 以及 确定 实体 系统 特性 | ||
【主权项】：
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