[发明专利]水平传感器和包括水平传感器的光刻设备在审
| 申请号： | 201980063865.3 | 申请日： | 2019-08-26 |
| 公开（公告）号： | CN112771451A | 公开（公告）日： | 2021-05-07 |
| 发明（设计）人： | R·H·M·J·布洛克斯;J·G·C·昆尼;O·扎尔;J·H·里昂;S·斯里瓦斯塔瓦 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司;ASML控股股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F9/00 | 分类号： | G03F9/00;G01B13/12;G03F7/20;G01B13/06 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 张启程 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种具有气动传感器、温度传感器和控制器的水平传感器系统。所述气动传感器(10)具有用于与参考表面(R)形成参考间隙(GR)的参考出口(100)和用于与测量表面形成测量间隙(GM)的测量出口(200)，其中所述气动传感器被配置成产生指示从所述参考出口流出的气体流量与从所述测量出口流出的气体流量之间的差的气动传感器测量结果。所述温度传感器(510a、510b)被配置成产生指示所述参考表面的温度和/或所述测量表面的温度的温度测量结果。所述控制器(700)被配置成基于所述温度测量结果来调整所述气动传感器测量结果，以产生指示所述参考间隙与所述测量间隙之间的高度差的信号。 | ||
| 搜索关键词： | 水平 传感器 包括 光刻 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于ASML荷兰有限公司;ASML控股股份有限公司，未经ASML荷兰有限公司;ASML控股股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201980063865.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
