[发明专利]物理量测定装置有效
| 申请号： | 201980064667.9 | 申请日： | 2019-11-19 |
| 公开（公告）号： | CN113039412B | 公开（公告）日： | 2023-09-22 |
| 发明（设计）人： | 矶谷有毅;星加浩昭 | 申请（专利权）人： | 日立安斯泰莫株式会社 |
| 主分类号： | G01F1/68 | 分类号： | G01F1/68;G01R23/16 |
| 代理公司： | 上海华诚知识产权代理有限公司 31300 | 代理人： | 肖华 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种相较于以往而言能够减少气体流量的频率解析误差的物理量测定装置。本发明的物理量测定装置(20)具备流量传感器(205)和信号处理部(260)。信号处理部(260)具有缓冲器(261)、偏移调整部(262)、增益运算部(263)、修正运算部(264)以及频率解析部(265)。缓冲器(261)存储规定期间的基于流量传感器的输出信号的流量数据。偏移调整部(262)调整流量波形的零点。增益运算部(263)算出零点调整后的流量波形的修正增益。修正运算部对零点调整后的流量波形乘以修正增益来进行修正。频率解析部进行修正后的流量波形的频率解析运算而且使运算得到的数据存储至缓冲器。增益运算部算出不会在频率解析部中发生溢出的修正增益。 | ||
| 搜索关键词： | 物理量 测定 装置 | ||
【主权项】：
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